UV 400 & UVR 400 Pyrometers
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產(chǎn)品名稱: UV 400 & UVR 400 Pyrometers
產(chǎn)品型號(hào):
產(chǎn)品展商: Impac / Advanced Energy
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
用于基于GaN的MOCVD外延工藝的真正晶圓表面溫度和反射儀，具有極短波長(zhǎng)的數(shù)字火程計(jì)。溫度范圍為650至1300°C。
UV 400 & UVR 400 Pyrometers
的詳細(xì)介紹
UV 400 & UVR 400 Pyrometers描述
UV 400和UVR 400系統(tǒng)專為基于GaN的MOCVD外延工藝設(shè)計(jì)，能夠直接測(cè)量晶圓表面溫度，這比傳統(tǒng)的感應(yīng)器/口袋溫度測(cè)量有了顯著提升，從而提高了良率。UVR 400更進(jìn)一步，增加了一個(gè)635納米的反射儀，測(cè)量速度為0.5 kHz，便于測(cè)量沉積厚度。這些系統(tǒng)重新定義了LED生產(chǎn)工藝的標(biāo)準(zhǔn)，結(jié)果顯示了工藝溫度與終端產(chǎn)品波長(zhǎng)之間的可靠相關(guān)性。
UV 400 & UVR 400 Pyrometers特色
? 可靠的晶圓溫度與PL波長(zhǎng)相關(guān)
? 裝置能承受氮?dú)獯髿鈱雍驼婵眨?lt;10毫巴）
? 溫度范圍內(nèi)可調(diào)節(jié)子范圍
? 利用真實(shí)光集計(jì)數(shù)儀器較小化測(cè)量噪聲
? 采用PhotriX和同心光管選項(xiàng)的完整反應(yīng)器溫度控制解決方案
UV 400 & UVR 400 Pyrometers
? 通過準(zhǔn)確的真實(shí)晶圓溫度測(cè)量提高良率
? 使用紫外波長(zhǎng)儀器直接測(cè)量氮化鎵層的溫度
? 獲得可靠的晶圓溫度與PL波長(zhǎng)相關(guān)
? 利用快速脈沖光源實(shí)時(shí)捕捉反射率測(cè)量
? 防止近紅外發(fā)射率補(bǔ)償式耐熱儀中出現(xiàn)的殘?jiān)鼫囟日袷?
? 防止因延遲采樣導(dǎo)致的數(shù)據(jù)偏斜（無快門開關(guān)）
Associated Part Numbers優(yōu)點(diǎn)
