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產(chǎn)品資料

Trek 645

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產(chǎn)品名稱: Trek 645
產(chǎn)品型號:
產(chǎn)品展商: Trek / Advanced Energy
產(chǎn)品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

軟件驅動靜電夾頭電源，輸出電壓范圍為0至±2 kV


Trek 645  的詳細介紹
Trek 645描述
Trek® 645 軟件驅動的靜電夾頭電源，具有有詳細記錄的歷史，其效率和吞吐量是其他電源的三倍。Trek 645 多樣化且值得信賴的性能允許在多種獨特工具和工藝中使用，無需為設施中的每種獨特工具或工藝指定新的電源。


Trek 645特色

? 可鎖定前面板控制界面
? 每臺設備均附帶NIST可追溯校準證書
? 支持庫侖和約翰森-拉貝克電阻技術
? 上傳并存儲靜電夾頭配置文件到設備，并通過用戶友好的軟件界面內(nèi)部存儲
? 晶圓檢測包括無晶圓、晶圓存在或晶圓夾持狀態(tài)


Trek 645優(yōu)點

? 減少背面氣體錯誤，提高通量，消除硅片粘性/爆裂問題
? 控制參數(shù)，如過電流、晶圓存在和晶圓鉗位閾值、鉗位電壓、偏移電壓以及內(nèi)部或外部幅度/偏移控制
? 調整過程中的振幅/偏移及輸出控制靈活性
? 通過后面板I/O、串行計算機命令或前面板控制控制輸出
? 配置自定義鉗制和減鐵燈序列及波形


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